Impulssinen Nd: YAG-laserpuhdistusprosessi perustuu laserin tuottamien valopulssien ominaisuuksiin, jotka perustuvat suuritehoisiin palkkeihin, lyhyisiin pulsseihin.
Laser- ja kontaminoituneiden kerrosten välisten vuorovaikutusten aiheuttamat fotofyysiset reaktiot. Sen fyysiset periaatteet voidaan tiivistää seuraavasti:
1) Laserin lähettämä säde imeytyy käsiteltävän pinnan saastuneella kerroksella.
2) Suuren energian imeytyminen muodostaa nopeasti laajenevan plasman (voimakkaasti ionisoidun epävakaan kaasun), joka muodostaa iskuja.
3) Iskun aalto aiheuttaa epäpuhtauksien hajoamisen ja hylätään.
4) Valon pulssin leveyden on oltava riittävän lyhyt, jotta vältetään lämmön kertyminen, joka vahingoittaisi käsiteltävää pintaa.
5) Kokeet ovat osoittaneet, että kun metallin pinnalla on oksidi, plasma muodostuu metallipinnalle.
Plasma syntyy vain silloin, kun energiatiheys on kynnysarvon yläpuolella, joka riippuu saastuneen tai oksidikerroksen poistamisesta. Tämä kynnys
Vaikutus on tärkeää tehokkaan puhdistuksen kannalta, samalla kun varmistetaan alustan materiaalin turvallisuus. On myös toinen kynnys plasman läsnäololle. Jos mahdollista
Kun määrän tiheys ylittää tämän kynnyksen, substraattimateriaali tuhoutuu. Alustamateriaalin tehokkaan puhdistamisen varmistamiseksi sen on perustuttava
Laserparametreja säädetään siten, että valopulssin energiatiheys on tiukasti kahden kynnyksen välillä.
Jokainen laserpulssi poistaa tietyn paksuuden saastuneesta kerroksesta. Jos saastunut kerros on paksu, puhdistukseen tarvitaan useita pulsseja. Kuivaa pinta
Verkkoon tarvittavan pulssin määrä riippuu pinnan saastumisasteesta. Kahden kynnysarvon tuottama tärkeä tulos on puhdistuksen itsesääntely. Korkea energiatiheys
Ensimmäisen kynnyksen valopulssit hylkäävät aina epäpuhtaudet, kunnes substraattimateriaali on saavutettu. Koska sen energiatiheys on kuitenkin alhaisempi kuin alustamateriaalin
Kynnys on tuhoutunut, joten alustaa ei ole vaurioitunut.