Laserille on ominaista korkea suuntaavuus, yksivärisyys, korkea koherenssi ja korkea kirkkaus. Objektiivin tarkennuksen ja Q-kytkennän avulla energia voidaan keskittää pieneen tilaan ja aikaväliin. Laserin puhdistusprosessissa käytetään pääasiassa seuraavia laserin ominaisuuksia:
1. Laser voi saavuttaa korkean energian pitoisuuden ajassa ja tilassa. Tarkennettu lasersäde voi tuottaa useita tuhansia asteita tai jopa kymmeniä tuhansia korkeita lämpötiloja lähellä tarkennusta, jotta lika haihtuu välittömästi, höyrystyy tai hajoaa.
2. Lasersäteen divergenssikulma on pieni ja suunta on hyvä. Lasersäde voidaan integroida eri läpimittaisten pisteiden väliin keskittymisjärjestelmän avulla. Ohjaa eri läpimittaisia lasersäteen kohtia samoissa laserenergian olosuhteissa.
3. Laserin energiatiheyttä voidaan säätää aiheuttamaan likaa kuumenemalla. Kun lian laajennusvoima on suurempi kuin lian adsorptiovoima alustalla, lika lähtee kohteen pinnasta.
Siksi laserpuhdistus ei voi vain vahingoittaa alustan pintaa, mutta myös substraatin sisällä oleva koostumus ei muutu, mikä on totta ilman alustaa vahingoittamatta.